離子泵是Hapsite真空系統的重要組成部分,主要去除質(zhì)譜腔體里的惰性氣體,如:氦、氖等氣體。
平時(shí)開(kāi)機時(shí)會(huì )碰到離子泵打不開(kāi)或啟動(dòng)失敗的情況,可以按以下操作檢查:
1, 重新啟動(dòng)儀器2-3次,查看能否打開(kāi)離子泵。
2, 查看調諧報告,確認BCT近一次開(kāi)機調諧時(shí)間。如果當下開(kāi)機大于三個(gè)月時(shí)間,
需要考慮使用服務(wù)模塊烘烤維護儀器。
3, 加載Hapsite在服務(wù)模塊上,抽真空2小時(shí)后,如果儀器不能運行方法,
可能是離子泵故障,此時(shí)需要聯(lián)系工程師。
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